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郑经理 先生
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发布时间:2022-07-05 14:53:32
特种气体广泛应用于半导体制造行业,是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料,它们主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110 余种单元特种气体,其中常用的有20~30 种。特种气体兴起于60年代中期,作为基础化工材料,主要运用于大型石油化工、半导体器件、光导纤维、激光、临床诊断、水果催熟、食品保鲜等领域。随着新产品技术的发展,其应用范围也越来越广泛。
CO2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除,本公司经过多年潜心研究和多项实验,研发出的多元精馏添加剂打破了杂质共沸而无法除去的技术难题,使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段,较传统工艺一次性***降低 50%。在半导体制造过程中涉及的材料众多,在半导体集成电路的生产过程中,从芯片生长到后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子特种气体,因此电子特种气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。特种气体是电子工业,特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体,该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向,这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。
灭菌特种气体由于它的活泼型,杀菌力强、杀菌谱广,对物品损害轻微等优点,已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一,特种气体分类:电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体,目前,我国电子气体品种基本齐全,但数量和质量与 发达***相比,尚有较大差距;电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料,被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。
特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2,减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4;特种气体的储存注意事项:高压容器内,存有内容物时,无论内容量多少,在该容器储存场地2m内,严禁明火或放置燃、可燃物。场所的环境温度≤40℃为佳。特种气体的储存注意事项:储存场地的道路,应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏,长期存放的充填高压容器需要每月复检一次,并做记录。
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