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准分子(Excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。激光切割机所用气体的种类和作用： 1）空气：①作为切割气体使用 ②作为冷却切使用 ③作为光路内部除尘使用（保护镜片延长镜片的使用时间） 2）普氧：作为切割碳钢的气体（助燃性）纯度99.5% 3）纯氮：作为切割不锈钢的气体（冷却性）纯度99.9%（切割碳钢速度为3/4） 4）高纯氮：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% 5）高纯氦：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% 6）高纯二氧化碳：作为激光器的使用气体，纯度：99.999% ；

近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。激***体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。

激光混合气中的发生气体是激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。所以激光机对这些气体的质量要求特别高。金属蒸汽离子激光中，氦镉(He-Cd)激光是的，氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。氦镉激光的325 nm紫外线，和441.6 nm蓝光，是常见的输出。加上特殊设计时，它可同时发生红光(635.6及636.0 nm)和绿光(533.7及537.8 nm)。它的短波长成分，在信息处理方面很有用。适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，因此它的白光激光产品也是有名的。储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。气体激光(Gaseous laser)，以气体为自动介质的激光中，包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。