唐山高纯特种气体-经验丰富 安徽谱纯性能无忧

 特种气体应用于国民经济的很多行业, 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展, 无论在气体品种上,还是在数量上, 都以的速度发展, 生产的品种基本上满足了市场的需求。电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。自80年代1开始，我国的气体工业迅速发展，各类纯气体、高纯气体、特种气体、混合气体、标准气体、电子工业用气体等相继问世，其品种数目已与国外发达***水平相近。

 灭菌特种气体的主要成分是环氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯，环氧乙1烷可杀灭细1菌（及其内孢子）、霉菌及真1菌，因此可用于消毒一些不能耐受高温消毒的物品。硅片的蚀刻气体（特种气体）主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。

 特种气体是指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气，高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。作为基础化工材料，特种气体随着新产品技术的发展，应用范围越来越广泛。电子特种气体种类多，应用领域广泛。 电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5%~6%，但是由于其品种繁多，在半导体制程工艺中覆盖广泛，因此成为衡量半导体技术的核心产品。特种气体是电子工业，特别是大规模集成电路制造不可缺少的材料气体，该产业的发展应与集成电路产业发展同步或超前。特种气体的纯度朝高纯的方向发展是特种气体产业的一个必然方向，这就要求特种气体的分离技术不断进步以满足纯度的要求。

特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“***”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。特种气体的重要性：电子特种气体决定了集成电路的终良率和可靠性。由于电子气体用途多，用量大。所以电子气体也直接决定了 终芯片的良率和可靠性，