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发布时间:2021-11-16 21:15:01
特种气体属于工业气体的一种。工业气体是现代工业重要的基础原料,根据不同气体的生产工艺和用途,可以将工业气体分为特种气体、合成气体、空分气体三大类。气体产品大致可以分为两大类别, 即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。硅片的蚀刻气体(特种气体)主要是氟基气体,包括四氟化碳、四氟化碳/氧气、六氟化硫、六氟乙1烷/氧气、三氟化氮等。
特种气体是指稀有气体或超高纯度(99.995% 以上)的气体。包括分析、医1药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质,它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。CO2原料气中包含的大量烃、硫类杂质传统精馏无法去除,本公司经过多年潜心研究和多项实验,研发出的多元精馏添加剂打破了杂质共沸而无法除去的技术难题,使用精馏代替粗脱硫、水解、精脱硫、脱烃、二次脱水等多种工段,较传统工艺一次性***降低 50%。特种气体是光电子、微电子等领域,特别是在超大的规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基硅性支撑源材料。
特种气体分类:从应用领域划分,特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、环保和高装备制造等领域。特种气体分类:标准气体严格意义上应称为标准校正气体,是一种高度均匀, 稳定性良好和量值准确的气体,可分为单元标准气体和多元标准气体,目前标准气基本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求,我国特种气体行业在 2006 年后进入快速发展阶段,广泛应用于集成电路、显示面 板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保和新兴产业领域,
特种气体在太阳能电池中的应用:晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2,减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4;特种气体是工业气体中的一个新兴门类,是随着近年来工业、科学研究、自动 化技术、精密检测,特别是微电子技术的发展而发展起来的。灭菌特种气体主要应用于(绷带、缝线及***器具)、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。
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